為了適應(yīng)市場需求，實現(xiàn)微細(xì)軸、微細(xì)孔、陣列孔、微三維結(jié)構(gòu)的高品質(zhì)、高精度和高效率制造，超微細(xì)數(shù)控電火花加工機(jī)床正在研制中，該機(jī)床可應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、電子通訊、MEMS等領(lǐng)域的微器件/微模具領(lǐng)域。 主要技術(shù)特點和創(chuàng)新點 1）精密旋轉(zhuǎn)進(jìn)給蠕動復(fù)合功能主軸 2）微細(xì)電極在線制作的緊湊型線電極放電磨削機(jī)構(gòu) 3）高頻微小能量脈沖放電電源 4）切向進(jìn)給線電極放電磨削方法在線制作微細(xì)電極 5）創(chuàng)新的三維微細(xì)電火花伺服掃描加工工藝 6）微三維結(jié)構(gòu)深度精度控制算法 7）三維微結(jié)構(gòu)精密電火花加工機(jī)床的系統(tǒng)集成